所謂的無(wú)塵潔凈廠(chǎng)房是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著(zhù)集成電路技術(shù)的快速成長(cháng)，也增加了對制造環(huán)境(無(wú)塵潔凈廠(chǎng)房)潔靜度的需求，在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。

由于奈米技術(shù)的興起，造成半導體關(guān)鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線(xiàn)時(shí)，就可能會(huì )使金屬導線(xiàn)形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線(xiàn)上，可能將其腐蝕，所以無(wú)塵潔凈廠(chǎng)房為集成電路制造不可或缺的要素。